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氣體傳感器的發(fā)展淺析

時間:2023-05-19 來源:艾而特

(一)著重于新氣敏材料與制作工藝的研究開發(fā)

  對氣體傳感器材料的研究表明,金屬氧化物半導(dǎo)體材料ZnO,SiO2,F(xiàn)e2O3等己趨于成熟化,特別是在C比,C2H5OH,CO等氣體檢測方面。這方面的工作主要有兩個方向:

  1、是利用化學(xué)修飾改性方法,對現(xiàn)有氣體敏感膜材料進(jìn)行摻雜、改性和表面修飾等處理,并對成膜工藝進(jìn)行改進(jìn)和優(yōu)化,提高氣體傳感器的穩(wěn)定性和選擇性;

  2、是研制開發(fā)新的氣體敏感膜材料,如復(fù)合型和混合型半導(dǎo)體氣敏材料、高分子氣敏材料,使得這些新材料對不同氣體具有高靈敏度、高選擇性、高穩(wěn)定性。由于有機(jī)高分子敏感材料具有材料豐富、成本低、制膜工藝簡單、易于與其它技術(shù)兼容、在常溫下工作等優(yōu)點,已成為研究的熱點。

(二)新型氣體傳感器的研制

  用傳統(tǒng)的作用原理和某些新效應(yīng),優(yōu)先使用晶體材料(硅、石英、陶瓷等),采用先進(jìn)的加工技術(shù)和微結(jié)構(gòu)設(shè)計,研制新型傳感器及傳感器系統(tǒng),如光波導(dǎo)氣體傳感器、高分子聲表面波和石英諧振式氣體傳感器的開發(fā)與使用,微生物氣體傳感器和仿生氣體傳感器的研究。隨著新材料、新工藝和新技術(shù)的應(yīng)用,氣體傳感器的性能更趨完善,使傳感器的小型化、微型化和多功能化具有長期穩(wěn)定性好、使用方便、價格低廉等優(yōu)點。

(三)氣體傳感器智能化

  隨著人們生活水平的不斷提高和對環(huán)保的日益重視,對各種有毒、有害氣體的探測,對大氣污染、工業(yè)廢氣的監(jiān)測以及對食品和居住環(huán)境質(zhì)量的檢測都對氣體傳感器提出了更高的要求。納米、薄膜技術(shù)等新材料研制技術(shù)的成功應(yīng)用為氣體傳感器集成化和智能化提供了很好的前提條件。氣體傳感器將在充分利用微機(jī)械與微電子技術(shù)、計算機(jī)技術(shù)、信號處理技術(shù)、傳感技術(shù)、故障診斷技術(shù)、智能技術(shù)等多學(xué)科綜合技術(shù)的基礎(chǔ)上得到發(fā)展。研制能夠同時監(jiān)測多種氣體的全自動數(shù)字式的智能氣體傳感器將是該領(lǐng)域的重要研究方向。


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